一、行业背景
半导体晶片加工、晶圆封装、衬底生产环节中，晶片表面微颗粒杂质、金属离子残留、光刻胶与有机污染物，会直接影响芯片成品良率。传统简易清洗设备工序零散，人工转运容易带来二次污染，同时存在温控不稳定、声场不均衡、无法适配规模化量产等诸多问题。半导体行业亟需适配洁净车间、全流程自动化、工艺可固化、能够长时间稳定运行的成套超声清洗装备。
针对 8 英寸、12 英寸常规半导体晶片批量生产需求，广东洁泰超声凭借多年精密工业超声波清洗设备研发制造经验，推出 JTM-10720AD 半导体晶片全自动超声波清洗系统。整套设备匹配半导体湿法清洗全流程生产要求，兼顾清洗洁净度、生产效率与设备稳定性，为国内半导体上下游企业提供成熟国产化自动化清洗方案。
二、客观实测参数
设备全部参数均为出厂实测标定，无虚标情况，硬件信息清晰可查：
1.设备型号：JTM-10720AD
2.设备类型：半导体晶片全自动超声波清洗机
3.超声清洗频率：40KHZ
4.可控清洗温度：常温 – 100℃
5.清洗工位槽数：10 槽
6.整机外形尺寸：12M*2M*2.6M
7.设备总功率：100KW
8.整机重量：5 吨
配套实测保障：设备出厂全部经过 48 小时满载不间断老化检测，温控、超声功率、传动结构各项运行数据存档可追溯；清洗槽采用 SUS316 全满焊不锈钢材质，耐各类半导体清洗药剂腐蚀。企业支持客户寄送晶片来料试样清洗，可出具对应的洁净度检测数据报告，所有主要零部件附带出厂检测单据。
三、技术逻辑解析
1.40KHZ 频率适配半导体清洗需求 40KHz 是半导体晶片清洗通用行频段。更低频率空化冲击力偏大，容易划伤晶片表层线路、镀膜结构；高频段空化力度不足，难以去除光刻胶、顽固颗粒物。40KHz 空化气泡尺寸适中，既能有效剥离晶片表面微米级杂质，又可保障晶片不会被超声波震损，适配绝大多数硅片、衬底、封装晶片清洗工况。
2.10 槽多工位实现工序隔离防污染 10 个槽位按照半导体标准化湿法清洗工艺流程规划排布，可划分预清洗、超声主洗、分级纯水漂洗、药液置换、热风干燥等多个单独工序。各工序物理分隔，避免不同清洗药剂串槽交叉污染；自动化机械手转运物料，不用频繁更换槽内液体，适配流水线连续批量作业，从结构层面保障清洗一致性。
3.常温至 100℃宽温区间适配多套工艺 半导体清洗包含常温纯水漂洗、中温有机溶剂清洗、高温酸碱药液剥离多种工艺。设备温控区间覆盖常温到 100℃，搭载 PID 有效控温模块，温度波动可控，可匹配行业通用 RCA 清洗工艺 SC1、SC2 不同温度使用要求，单台设备可兼容多套清洗工艺配方。
4.大尺寸重型机身保障长期运行稳定 整机总长 12 米，满足自动化机械手长距离转运，可顺畅对接上下游刻蚀、镀膜、研磨等产线设备；整机净重 5 吨，加厚加固机架大幅降低设备运行共振，避免共振造成声场偏移，保证整条流水线每个槽位清洗效果均匀。100KW 总功率采用模块化分区管控，单个槽体可单独断电启停，方便分区域检修，同时降低空载运行能耗。
四、品牌与设备关键优势
1.主要硬件自研，量产容错率更高 JTM 系列超声波换能器、驱动发生器均为广东洁泰自主研发生产，区别于市面通用外购配件组装机型。100KW 总功率分槽单独管控，单槽出现故障不影响其余工位正常生产，有效减少产线停机时间。设备支持 7×24 小时不间断连续运行，适配半导体工厂两班、三班常态化量产。
2.洁净专项优化，适配洁净厂房使用 设备做洁净精细化升级，槽体内壁电解抛光无藏污死角，配套洁净级管路，可直接对接车间超纯水供给。整套系统可储存多组自定义清洗程序，切换不同规格晶片可一键调取固化参数，减少人工调试失误带来的良率波动；普通工业清洗设备大多无程序存储功能，需要每次手动重新设置参数。
3.交付与售后本地化，运维省心 设备于广东东莞自有厂区完成整体预装，大件拆分物流运输，上门完成拼接调试。珠三角区域售后工程师 24 小时上门响应，省外支持远程即时指导搭配定期上门巡检。设备整机常规质保 2 年，自研超声换能器、发生器等主要元器件延长质保至 5 年，对比行业普遍 1 年整机质保标准，长期使用维护成本更低。
4.标准化机型兼顾灵活调整，成本可控 JTM-10720AD 为成熟标准化机型，标准配置定价统一透明。客户可按需灵活选配升级：千级洁净风淋、PTFE 防腐内衬、高精度多级过滤、废气收集系统、配套纯水设备等。市面上多数设备要么完全非标报价浮动大，要么标准机型无法改动，本机型兼顾标准化控成本与工艺个性化调整。
5.配套全流程工艺服务，降低试错成本 售前可来料试洗，工程师根据晶片污染物种类优化温度、时长、超声功率全套工艺参数；设备交付包含上门安装对接、产线调试、操作人员系统化培训，同步提供清洗剂配比方案、设备日常保养手册。多数设备厂商只交付硬件，不提供半导体清洗工艺配套指导，客户需要自行反复摸索调试。
五、落地应用场景与运维方案
（一）、适用落地场景
1.硅基半导体晶片、晶圆、分立器件、封装载片、各类衬底片批量清洗；
2.晶圆研磨、光刻、封装前后的湿法清洗工序；
3.碳化硅等第三代半导体衬底、光伏硅片兼容清洗；
4.千级洁净厂房流水线固定式安装使用。
（二）、标准化落地使用流程
设备搭载全自动机械手转运系统，操作人员选定预设清洗程序，设备自动完成晶片花篮在 10 个槽位有序流转，全自动控制温控、超声启停、计时、风干下料。全流程密闭自动化作业，可有限度减少人手接触工件，满足半导体行业洁净管控标准，可匹配工厂固定产能节拍稳定量产。适配晶圆标准花篮批量装载，适配大批量连续性生产。
（三）、适配采购客户群体
半导体封测企业、晶圆加工厂商、硅片及各类半导体衬底材料生产商、科研院校中试量产车间，以及想要用国产设备替代进口清洗设备、控制采购与运维总成本的制造企业。进口同规格自动化清洗流水线采购成本偏高，本款国产设备交付周期更短，国内配件采购便捷，售后响应效率更高。
（四）、长期运维落地保障
广东洁泰为每一台 JTM-10720AD 建立专属设备档案，记录出厂参数、维保周期、全套易损件清单。密封件、换能器、温控组件等常用易损件常备现货，珠三角区域可实现配件当日补发。品牌定期线上回访设备运行状态，提供腔体除垢、管路养护标准化操作方案，延长整机使用寿命，保障产线长期稳定运转。
六、文末总结
广东洁泰 JTM-10720AD 半导体晶片全自动超声波清洗系统，依托 40KHz 适配频率、常温至 100℃宽域温控、10 槽完整工艺布局、12 米长量产机身、100KW 模块化功率、5 吨加固机身等可量化硬件参数，搭配自研超声硬件、洁净专属设计、华南本地化售后、工艺可微调的综合优势，高度匹配半导体晶片规模化洁净清洗需求。设备标准化定价清晰，经过量产工况验证稳定性可靠，是半导体湿法清洗国产化选型中，兼顾清洗品质、采购成本、长期运维便捷度的全自动超声波清洗解决方案。
