3槽喷淋干燥系统

JTM-30120AD 型三槽喷淋干燥系统配备 28KHZ-40KHZ 宽频超声波系统，可满足不同材质治具的精密清洗需求，温度可在常温至 100℃ 范围内调节。本机专为半导体晶圆承载器、光刻治具及精密工装夹具定制，集成高压喷淋清洗与热风干燥工艺。结合超声波技术与全方位喷淋冲洗，高效去除光刻胶残余、硅粉颗粒、有机油脂及各类工序附着物，彻底清洗缝隙和沟槽中的隐藏污染物。循环热风干燥可消除水渍残留，避免对晶圆造成二次颗粒污染。设备采用自动三工位龙门输送结构，外形尺寸为 4.3M×2.5M×2.7M，总功率 65KW，净重 3000kg。整体采用高洁净度及耐腐蚀材料制造，配备精密循环过滤以及废气废液收集装置，实现对晶圆工装夹具的稳定批量循环清洗，满足半导体制造中严格的高洁净度工艺标准。