洁泰三槽半导体晶圆治具清洗机，专为半导体行业晶圆承载治具、镀膜治具、光刻治具清洗打造，28KHZ-40KHZ 可调高频超声波能精准剥离治具表面及夹缝中的光刻胶残留、金属离子、微米级粉尘，三槽分段清洗进一步保障无二次污染；清洗温度支持常温 - 100℃可调，低温适配敏感材质治具，高温高效溶解顽固污渍，完全契合半导体行业 “高精度、无杂质” 的清洁标准！设备外形尺寸 430025002700mm 适配半导体车间生产线布局，3 吨工业级机身稳定抗造，支持 24 小时连续作业，助力避免因治具清洁不达标导致的晶圆良率下降问题！
| 型号：JTM-30120AD | 类型：半导体晶圆治具清洗机 |
| 清洗频率：28KHZ-40KHZ | 功率：65KW |
| 清洗温度：常温-100℃ | 槽数：3 |
| 外形尺寸：4.3M*2.5M*2.7M | 重量：3吨 |
