全自动环保型晶圆硅片超声波清洗机

JTW-90360AD 九槽全自动环保型超声波清洗机专为半导体行业晶圆、硅片精密湿法清洗而研制。配备40KHz-80KHz双频超声波系统，集成超声波旋转清洗、摆动清洗与热风烘干工艺，温度可调范围为室温至100℃。旋转与摆动复合运动强化液体扰动，结合稳定超声波空化作用，高效去除晶圆表面光刻胶残留、微颗粒、有机污染物及金属杂质，大幅减少颗粒二次附着，防止基底划伤、水痕等缺陷。机器采用9工位自动龙门搬运结构，外形尺寸9.5M×1.8M×2.7M，总功率180KW，净重5000kg。配备闭式化学过滤及集中废气废液处理系统，实现环保生产并降低化学药剂消耗。采用高等级洁净防护设计，广泛应用于硅晶圆、碳化硅芯片、蓝宝石衬底等半导体材料大批量清洗，满足刻蚀、镀膜、封装等前道工艺所要求的超高标准洁净度。